HBM和MM测试方法标准2015/01/06

HBM和MM测试方法标准

一、HBM测试方法及标准

1、ANSI-STM5.1-2001、JESD22-A114D -2005、AEC-Q100-002D -2003 2、该标准用于明确HBM模式下的ESD电压敏感度的测试、评价以及分级过程  

3、整个测试过程繁琐，尤其对仪器及脉冲波形的校验工作，但非常必要  

4、ESD测试中，器件不在工作状态

二、一些比较重要的概念:

（1）器件失效(component failure)：当器件不再符合厂商或用户提供的器件动态和静态特性参数

（2）ESD敏感度(sensitivity):引起器件失效的ESD等级(level) （3）ESD耐受电压(withstand voltage)：在不引起器件失效前提下的最大ESD等级

（4）步进耐压增强(Step stress test hardening):在步进增加的测试电压下，器件的耐受电压的现象  

三、用于验证脉冲电流波形的仪器：示波器、连个电阻负载和一个电流传感器。

具体指标：

1、示波器：分辨率100mA/1cm、带宽350MHz、1cm/ns的显示输出速度；

2、负载电阻：Load1:短路线， Load2：500ohm

3、电流探针：带宽 350MHz，峰值电流12A，上升时间小于1ns